涂層厚度測(cè)量球磨儀
球磨試驗(yàn)是一個(gè)成熟的涂層厚度的測(cè)量方法。用旋轉(zhuǎn)鋼球和研磨液使鋼球球冠磨開(kāi)樣品表面涂層進(jìn)入樣品的本底材料。當(dāng)用顯微鏡檢測(cè)時(shí),可見(jiàn)涂層/基體材料顯示為一個(gè)圓,或在多層涂層中顯示一個(gè)同心圓的系統(tǒng)。該涂層的厚度可以從這些圓的直徑與研磨球的直徑代入公式來(lái)計(jì)算。
此種純幾何方法可以給出高度**的結(jié)果,即使涂層厚度在微米范圍內(nèi)也可**測(cè)量。測(cè)量結(jié)果可以由軟件oumit和配備有相機(jī)的顯微鏡直接算出。